CO2对金刚石膜结构的影响与硬度实验研究

金刚石膜是一种优异的硬质薄膜材料，具有极高的硬度、抗磨损性、化学稳定性和光学透明性等特性，因此被广泛应用于半导体、磁盘、太阳能电池、生物医学等领域，金刚石膜的制备方法有很多种，其中化学气相沉积（CVD）技术是最常用的一种方法。